微纳压电高速扫描台，高速扫描运动，兼容高真空

简要描述：SD15/30.x.C，微纳压电高速扫描台，高速扫描运动，兼容高真空
紧凑型 “SD系列“ 高动态系列

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详细介绍

压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.x.C

➡ 高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率

• X 方向运动范围 15 um, 30 um；

• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm；

• 闭环定位精度优于 0.1 nm；

• 电容位置传感器；

• 高速运动响应；

• 支持高真空 (.HV) ，超高真空 (.UHV) 选件升级；

微纳压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空——详细参数：

微纳压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空——尺寸图：

SD15.x.C

微纳压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空

SD30.x.C

微纳压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空

点点平台官网登录入口“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含：

S —— 扫描标准系列；

SD —— 高动态系列；

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。

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