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简要描述：Carrier.Lxxxx.XY，压电载物台，大行程高负载，兼容无磁高真空“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学，半导体表征
产品型号：Carrier.Lxxxx.XY厂商性质：生产厂家更新时间：2025-07-22访 问 量：1302产品分类
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压电载物台·闭环 Carrier.Lxxxx.XY
➡ 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案
Carrier.L7550XY
• XY方向行程 75 mm × 50 mm；
• 最小步伐约 5 nm；
• 最高速度 20 mm/s；
• 位置传感器分辨率：1 nm；
• 全行程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm；
• ⽀持无磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；
• 主体铝合金 (硬质氧化发黑)；
Carrier.L1010XY
• XY方向行程 100 mm × 100 mm；
• 最小步伐约 5 nm；
• 最高速度 10 mm/s；
• 位置传感器分辨率：1 nm；
• 全行程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm；
• ⽀持无磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；
• 主体铝合金 (硬质氧化发黑)；
压电载物台，大行程高负载，兼容无磁高真空——详细参数：
压电载物台，大行程高负载，兼容无磁高真空——尺寸图：
Carrier.L7550.XY
Carrier.L1010.XY
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